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半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備

文章出處：原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2025-03-22 00:00:00【大中小】

鑫藍(lán)廢氣處理設(shè)備－電子廠涉及的行業(yè)很多，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣處理主要針對半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣，主要可以分為，半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣，和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣。

　　半導(dǎo)體制造工藝

　　1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法

　　現(xiàn)在，半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣（VOC）通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。

　　2、針對電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：

　　將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水（H2O）。

　　3、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

　　放電產(chǎn)生的筒式沸石轉(zhuǎn)輪體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

　　反應(yīng)快，不受氣速限制。

　　采用防腐蝕材料。

　　只需用電，操作極為簡單。

　　設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。

　　氣阻小，適用于大風(fēng)量的廢氣處理。

　　4、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。

　　5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析

　　半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

　　6、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來源

　　半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣，主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序，與半導(dǎo)體制造工藝相比，半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣。

　　含毒氣性廢氣，其來源為化學(xué)氣相沉積、干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生。主要成分是磷化氫等。

　　電子廠廢氣處理半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù)，在實(shí)際設(shè)計(jì)中，需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。

針對排放的腐蝕性強(qiáng)的氯化氫酸性廢氣，采用兩級堿噴淋塔處理系統(tǒng)對其進(jìn)行處理。通過對比產(chǎn)生、排放濃度和速率可知，該處理系統(tǒng)對氯化氫酸性廢氣的去除效率可達(dá)95%以上。電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強(qiáng)、有毒有害的氯化氫酸性廢氣，可采用兩級堿噴淋塔凈化工藝，以達(dá)到高效凈化、經(jīng)濟(jì)可行、穩(wěn)定性高的效果。

鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司多年來專注于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)計(jì)、制造和安裝。我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒、RCO蓄熱催化燃燒、CO催化燃燒、TO直燃爐、有機(jī)廢氣處理設(shè)備、冷凝回收、防爆除塵器、酸堿廢氣處理、濾筒除塵器、防爆除塵器、單機(jī)除塵器、倉頂除塵器、旋風(fēng)除塵器、洗滌塔、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等。