- [鑫藍動態]半導體含砷廢氣處理設備[ 2023-12-29 00:00 ]
- 半導體工業是現代工業的重要組成部分，其生產過程中會產生大量的廢氣。其中，含砷廢氣是一種難以處理的有毒廢氣，因其含有高濃度的砷元素，對人體和環境造成的危害性非常大。因此，半導體含砷廢氣處理一直是工業領域的難題。 半導體含砷廢氣的成分 半導體含砷廢氣的主要成分是砷化氫（sH3）和三甲基砷（TM）。其中，砷化氫是一種無色、有毒、易燃的氣體，具有強的損傷作用，能破壞人體細胞的DN，導致中毒；而三甲基砷則是一種有機砷化合物，同樣具有毒性。 半導體含砷廢氣的治理方法
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